愛(ài)德華Edwards真空泵iXH100半導(dǎo)體干泵AC010A121000

Edwards iXH 100 是專為環(huán)保而設(shè)計(jì)的全新干泵系列 苛刻的化學(xué)過(guò)程的制造和加工。使用非常低的能量，高效的根機(jī)制具有 經(jīng)過(guò)開(kāi)發(fā)，可大幅降低輸入功率至 1.3 kW，比上一代干式低 60% 泵，減少對(duì)環(huán)境的影響并降低成本 所有權(quán)。 氣體阻隔技術(shù)和熱設(shè)計(jì)改進(jìn) 耐腐蝕性是 iH 系列的 4 倍 產(chǎn)品。先進(jìn)的粉末處理功能意味著 iXH 將提供最大的可靠性和更長(zhǎng)的泵壽命 多層蝕刻工藝，降低功耗 用于 CVD 工藝，尤其是使用刺激性化學(xué)品。

Edwards iXH 100 系列泵結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，結(jié)合 極低的噪音和振動(dòng)，使 iXH Edwards 系列中用途最廣泛的化學(xué)干泵。iXH 將 改變您對(duì)干式真空泵技術(shù)的期望， 以最小的速度提供真正的好處并延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間 環(huán)境影響。iXH 泵設(shè)計(jì)用于大多數(shù)半導(dǎo)體 處理，同時(shí)顯著降低輸入功率。該型號(hào)沒(méi)有增壓鼓風(fēng)機(jī)泵以增加性能。有關(guān)完整的說(shuō)明手冊(cè)，請(qǐng)參閱下載。

接口圖

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)：

• 主要用于苛刻的化學(xué)應(yīng)用

• 峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）

• 極限壓力 1.5 x 10-2 Torr

• 無(wú)需預(yù)防性維護(hù)

• 僅包含主泵

• 3/8英寸快速連接注水

• 水和電源連接對(duì)接半

• SS水冷系統(tǒng)

• 多模 44 slm 氣體模塊

應(yīng)用：

• 負(fù)載鎖定

• 轉(zhuǎn)移

• 氣象學(xué)

• 光刻

• 物理氣相沉積PVD工藝

• 物理氣相沉積 PVD 預(yù)清洗

• 快速熱退火RTA

• 剝離/灰化

• 蝕刻

• 植入物來(lái)源

• 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積HDP CVD

• 快速熱處理 RTP

• 低于大氣壓的化學(xué)氣相沉積 SACVD

• 鎢化學(xué)氣相沉積WCVD

• 改性化學(xué)氣相沉積MCVD

• 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

• 低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD

性能參數(shù)

抽速曲線