真空裝置自動控制常用名詞匯術(shù)語

要求實現(xiàn)控制的真空裝置或生產(chǎn)過程，稱之為被控制對象。例如真空閥、
2、測量裝置
3、調(diào)節(jié)裝置(調(diào)節(jié)器)
4、執(zhí)行機構(gòu)
差。如真空室中調(diào)節(jié)真空度的調(diào)節(jié)閥及調(diào)節(jié)加熱溫度的調(diào)功器均屬此類機構(gòu)。
系指被控制對象內(nèi)要求實現(xiàn)控制的參數(shù)。例如:壓力、溫度、流量、膜厚等。
測量裝置所測得的被控制量的實際值。
被控制量要求保持恒定或按預(yù)定規(guī)律變化的規(guī)定值。
測量值與給定值之差。
它是使被控制量產(chǎn)生變化的因素。擾動分兩種:一種為控制系統(tǒng)內(nèi)各個環(huán)節(jié)產(chǎn)生的擾動，稱為內(nèi)擾;另一種為控制系統(tǒng)以外對系統(tǒng)產(chǎn)生的干擾，稱為外擾。
把輸出信號送回到輸人端，以增強或減弱輸人信號的效應(yīng)稱為反饋。凡使輸人信號增強者稱為正反饋;反之，則稱為負(fù)反饋。在自動控制系統(tǒng)中多采用負(fù)反饋。
12、位式調(diào)節(jié)
13、比例調(diào)節(jié)
14、比例積分調(diào)節(jié)
15、比例積分微分調(diào)節(jié)
16、比例放大倍數(shù)Kp增大Kp，可使靜態(tài)偏差變小，但系統(tǒng)的穩(wěn)定性變差;反之，則可提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，但是，靜態(tài)偏差變大。通常用調(diào)節(jié)器的比例放大倍數(shù)Kp的倒數(shù)8表示，稱為比例度。
18、微分時間Td
19、穩(wěn)定性
擾動消除后，系統(tǒng)能恢復(fù)原來的平衡狀態(tài)的則是穩(wěn)定的。
系指系統(tǒng)處于平衡狀態(tài)時，被控制量與給定值的偏差(即靜態(tài)偏差)。
系指系統(tǒng)在隨時間變化的給定信號作用下所具有的精度。在定值系統(tǒng)中，動態(tài)精度就是過渡過程最大動態(tài)偏差。
自動控制裝置和被控制對象組成自動控制系統(tǒng)，它能夠使被控制對象按預(yù)定的規(guī)律動作，自動完成真空工藝過程。如鍍膜機微機控制系統(tǒng)等。