真空泵抽速不夠怎么辦？從不同品牌故障排查說實操解決方法

上周剛給蘇州園區(qū)一家半導體封裝廠處理完兩臺泵的問題，一臺愛德華的旋片泵，一臺鮑斯的羅茨機組，都是抽速達不到工藝要求，抽真空時間比之前慢了一倍。排查下來，愛德華是油濾堵死，鮑斯是轉子積碳，兩個問題完全不一樣。干真空泵維修十五年，我發(fā)現(xiàn)不同品牌的泵，抽速不夠的高發(fā)誘因差很多，很多新手上來就拆泵開大，反而越弄越錯，今天就說點實操的內容。

主流品牌真空泵抽速不夠的高發(fā)誘因差異

我們蘇州嘉科日常接觸最多的就是鮑斯、愛德華、萊寶這幾個品牌，覆蓋從食品包裝到半導體鍍膜全場景，從幾千臺維修案例統(tǒng)計下來，不同品牌的問題高發(fā)點區(qū)別很明顯：

• 愛德華真空泵：不管是油封旋片還是干式螺桿，抽速下降80%的問題出在排氣閥片老化變形和油過濾器堵塞。愛德華泵對真空油的清潔度要求遠高于多數(shù)國產泵，很多用戶按國產泵的維護周期來，半年不換油濾，油路過流不足，泵腔供油不夠，內泄漏直接變大，抽速一般會掉15%-30%，我碰到過最夸張的，用戶一年沒換油濾，抽速直接掉了一半還多，換完油濾和油就恢復正常了。
• 鮑斯真空泵：這幾年鮑斯的國產螺桿泵在光伏層壓、食品包裝領域放量很大，性價比高，它抽速不夠的高發(fā)問題反而是轉子間隙積碳和進氣過濾器堵塞。很多鮑斯泵用在粉塵多、揮發(fā)物多的場景，比如光伏層壓的EVA膠揮發(fā)物，很容易附著在轉子表面，時間長了不僅改變轉子間隙增加內漏，還會增大轉動阻力，直接導致抽速下降。
• 萊寶真空泵：萊寶的高真空機組用在半導體刻蝕、光學鍍膜多，抽速不夠的常見原因是前級泵匹配不足和軸封泄漏。萊寶的高真空系統(tǒng)大多是羅茨泵加前級旋片泵，很多用戶只關注主羅茨泵，前級泵維護不到位，前級抽速下降，整個系統(tǒng)的抽速都會被拖下來，還有軸封長期用老化漏大氣，泵的極限真空上不去，抽速自然達不到要求。

不用拆泵，10分鐘就能定位抽速不夠的原因

很多用戶一看到抽真空變慢，就覺得泵壞了要換，其實超過一半的抽速不夠問題都不是泵本身的硬件故障，按這個流程排查，不用拆泵就能定位：

第一步先查系統(tǒng)外漏。關死泵的入口閥門，保壓10分鐘，看真空壓降變化，如果10分鐘壓降超過10%，基本就是系統(tǒng)有漏點。很多時候抽速不夠根本不是泵的問題，是管道法蘭密封老化、接頭沒擰緊，白修泵還花冤枉錢。這里說個行業(yè)常用的小技巧，不用氦質譜檢漏儀也能快速找漏，把丙酮涂在懷疑的密封位置，看真空度有沒有快速下降，掉了就是漏點，簡單實用。

第二步查各級濾芯。不管什么品牌什么類型的泵，先拆進氣過濾器，油式泵再加查油過濾器，看堵塞情況。堵得厲害直接換，不太嚴重的用壓縮空氣從反方向吹干凈裝回去試。我們實際測過，堵塞70%的進氣濾芯，會讓泵的表觀抽速下降超過20%，這是成本最低也最容易解決的問題。

第三步測泵本身的極限真空。把泵的入口完全封死，空抽15分鐘，看能達到的極限真空，和泵銘牌上的參數(shù)比，如果差了一個數(shù)量級以上，那就是泵本身的問題，如果極限真空正常，那就是系統(tǒng)選型或者前級匹配的問題，這個區(qū)分能少走很多彎路。

不同原因的對應解決方案，別上來就換泵

定位完問題，對應解決就好，我把常見情況的解決方法整理一下：

維護不當導致的抽速下降，這種情況占所有抽速不夠問題的60%以上，只要按品牌要求做維護就能解決。愛德華我建議最多1000小時換一次油濾，2000小時換一次真空油，別省那幾百塊的耗材錢，油變質了不僅抽速降，還會加速轉子磨損，最后花大價錢修泵。鮑斯的螺桿泵如果用在粉塵、揮發(fā)物多的場景，每3個月要拆進氣濾芯吹一次，半年清一次轉子積碳，按這個周期維護，很少出現(xiàn)抽速掉的問題。

零件老化導致的抽速不夠，只換壞的零件就行，不用換整泵。比如愛德華的排氣閥片老化，一套耗材也就幾百塊，換完抽速就能回到額定參數(shù)的95%以上；萊博羅茨泵的軸封漏了，換一套骨架油封也花不了多少錢，很多廠商一上來就讓換整泵，本質就是賺換泵的錢，算不上厚道。

選型不足導致的抽速不夠，不用全換，找對方案能省一半錢。我之前碰到一家做光學鍍膜的客戶，工藝升級加了一個腔體，原來的前級泵抽速不夠，廠商給的方案是換一臺大1倍的前級泵，報價兩萬多。后來我們給改的方案，加一臺鮑斯的螺桿泵和原來的泵并聯(lián)，總抽速滿足要求，總花費不到一萬，而且鮑斯新泵的能耗比原來用了五年的老萊寶還低10%，用了三年多都沒出問題。這里說個誤區(qū)，很多人選泵喜歡留一倍以上的余量，其實完全沒必要，正常留15%-25%的余量就夠，余量留太大不僅采購成本高，泵長期低負載運行反而更容易出問題。

相關的不同品牌真空泵維護周期表，我們也整理放在了www.haodondon.cn的技術資料欄。

其實真空泵抽速下降，大多都是長期積累的小問題沒注意，不同品牌的設計和適用場景不同，維護的重點也不一樣，找對了問題點，花很少的錢就能解決，如果你碰到抽速不夠的問題，不妨先按這個流程排查一遍。