這里要糾正兩個(gè)常見(jiàn)的行業(yè)誤區(qū)：一是很多運(yùn)維覺(jué)得開(kāi)氣鎮(zhèn)會(huì)降低真空度，所以從來(lái)不開(kāi)。確實(shí)，開(kāi)氣鎮(zhèn)會(huì)引入額外空氣，油封旋片泵的極限真空會(huì)從10^-1Pa量級(jí)降到10Pa量級(jí)，看起來(lái)真空度差了，但換來(lái)了泵油不乳化，泵的壽命能延長(zhǎng)2-3倍，這點(diǎn)真空度的犧牲在大部分工藝的抽氣階段是完全可以接受的。二是氣鎮(zhèn)閥一直開(kāi)著不關(guān)，需要抽極限真空的時(shí)候也開(kāi)，那肯定永遠(yuǎn)達(dá)不到工藝要求的真空度，這兩種極端用法都不對(duì)。

氣鎮(zhèn)閥常見(jiàn)故障的診斷和維修步驟

氣鎮(zhèn)閥本身結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，很少出現(xiàn)不可逆損壞，大部分故障都是堵塞或者密封失效，按照下面三步就能排查解決，不用返廠花大價(jià)錢維修：

• 第一步：通過(guò)故障現(xiàn)象初步判斷。如果抽氣時(shí)真空度一直達(dá)不到要求，先手動(dòng)關(guān)死氣鎮(zhèn)閥，觀察真空表變化。如果關(guān)閥后真空度明顯上升，那大概率是氣鎮(zhèn)閥密封不嚴(yán)漏氣了；如果從來(lái)沒(méi)開(kāi)過(guò)氣鎮(zhèn)，開(kāi)閥后真空度沒(méi)有變化，泵油還是很快乳化，那基本就是閥芯被油泥堵死了。
• 第二步：拆機(jī)檢查清理。一定要先停機(jī)，把泵內(nèi)壓力泄到大氣壓再拆，避免熱油噴濺傷人。拆開(kāi)氣鎮(zhèn)閥端蓋，取出閥芯和彈簧，檢查密封面有沒(méi)有油泥、雜質(zhì)堆積，密封圈有沒(méi)有老化開(kāi)裂。大部分堵塞只是油泥糊住閥芯，用清潔柴油洗干凈重新裝回去就行，密封圈老化就換個(gè)同尺寸的丁腈橡膠圈，成本才幾塊錢。
• 第三步：裝回測(cè)試驗(yàn)證。裝回去之后，打開(kāi)氣鎮(zhèn)空抽，關(guān)氣鎮(zhèn)后測(cè)試泵的極限真空，能達(dá)到泵的標(biāo)稱參數(shù)就說(shuō)明維修好了。

去年有個(gè)半導(dǎo)體車間的客戶，一臺(tái)愛(ài)德華E2M80泵真空度上不去，原廠上門說(shuō)要換泵腔，報(bào)價(jià)十幾萬(wàn)，我們過(guò)去查了半天，就是氣鎮(zhèn)閥密封圈老化漏氣，換了個(gè)密封圈收了幾百塊就解決了，這種情況真的不在少數(shù)。

不同工藝場(chǎng)景下氣鎮(zhèn)閥的正確用法

不同工藝帶的凝液量不一樣，用法也要調(diào)整：如果是光伏層壓、冷凍干燥這類前期抽氣帶大量水汽的工藝，抽氣前期一直開(kāi)著氣鎮(zhèn)，等到真空度接近工藝要求之后，再關(guān)氣鎮(zhèn)抽極限真空就可以；如果是光學(xué)鍍膜、真空熱處理這類對(duì)極限真空要求高、工藝本身凝液少的，只需要每次開(kāi)機(jī)之后開(kāi)10分鐘氣鎮(zhèn)排潮氣，正常生產(chǎn)的時(shí)候關(guān)掉就行；如果是長(zhǎng)期低負(fù)荷運(yùn)行的備用泵，每周最好開(kāi)一次氣鎮(zhèn)空抽30分鐘，排掉泵油里積累的凝液，能有效延長(zhǎng)換油周期。

很多用戶算帳的時(shí)候只算開(kāi)氣鎮(zhèn)多耗的那幾度電，不算提前換泵油、換泵的成本，其實(shí)只要用對(duì)氣鎮(zhèn)閥，每年能省下來(lái)的維護(hù)費(fèi)用遠(yuǎn)超過(guò)那點(diǎn)電費(fèi)。相關(guān)的不同品牌真空泵氣鎮(zhèn)閥保養(yǎng)規(guī)范我整理過(guò)放在www.haodondon.cn，就不多贅述了。