碰到真空泵抽速不夠怎么辦？十幾年維修師傅的實戰(zhàn)排查步驟

上周剛從昆山一家光伏真空鍍膜廠回來，客戶那邊一臺用了18個月的鮑斯螺桿真空泵出了問題：原來抽真空到1×10^-2Pa只需要8分鐘，現(xiàn)在要半個小時還穩(wěn)不住，整條線產(chǎn)能卡了三分之一，車間主任一上來就說「泵抽速不夠了，幫我換臺新的」。干了十幾年真空泵維修，這種場景我碰得太多了，抽速不夠不一定是泵壞了，也不用急著換，按步驟排查下來，大部分問題都能花小錢解決。

先排查系統(tǒng)外漏：80%的抽速問題都出在這

很多人一碰到抽速下降，第一反應就是泵本身壞了，上來就拆泵，這是行業(yè)里最常見的誤區(qū)。我剛才說的這個光伏客戶，一開始自己廠的維修師傅拆了泵檢查轉(zhuǎn)子，折騰兩天沒查出問題，才找我們過來。我們到現(xiàn)場第一步就是測漏，因為抽真空系統(tǒng)只要有漏，泵抽速再大也達不到要求。

給大家說兩個實用的排查方法：普通要求的場合用酒精噴淋法，把泵開到額定轉(zhuǎn)速，真空穩(wěn)定后，用噴壺裝無水酒精噴在懷疑的漏點上，只要真空度突然掉了再慢慢回升，這個點就是漏點；工藝要求高的半導體、鍍膜場合，直接用氦質(zhì)譜檢漏儀掃，漏率超過1×10^-7Pa·m^3/s就會明顯影響抽速。

我碰過最多的漏點就是法蘭連接面的密封墊，長期受溫度變化、介質(zhì)腐蝕影響，很容易脆裂老化。這次昆山的客戶，就是抽氣主管靠近加熱爐的氟橡膠墊裂了一道兩毫米的口子，漏率大概0.3Pa/min，換了個新墊片之后，抽速直接恢復正常，成本才幾十塊。其他常見漏點還有閥門閥芯密封磨損、管道焊縫沙眼、觀察窗密封圈老化，挨個排查就能找到問題。

外漏排除后，再按從易到難查泵本身損耗

確定系統(tǒng)沒有外漏，那問題肯定出在泵本身，我們一般從不用開腔的部位查起，不用上來就拆泵腔：

首先查進氣過濾器，這是最容易被忽略的點。如果過濾器堵了，進氣阻力變大，系統(tǒng)里的氣抽不進泵腔，自然表現(xiàn)出來就是抽速不夠。我之前碰過一個制藥廠的冷凍干燥機組，用的小型旋片泵放在粉碎車間隔壁，半年沒換濾芯，拆下來濾芯上全是藥粉，進氣壓差快到0.1MPa，換完濾芯抽速直接恢復正常。

接下來看泵油和油位，這個針對油封式旋片泵、滑閥泵。油位低于最低刻度線的話，泵腔密封不好，內(nèi)漏變大，抽速直接下降。拿愛德華E2M40來說，油位如果低于油鏡最低線，抽速會下降20%-30%。更常見的是油質(zhì)變差，進水乳化、混入粉塵或者溶劑，都會讓油的密封潤滑能力下降，間隙變大抽速自然掉。我碰到過一個食品包裝廠，真空泵進水乳化變成奶白色，抽不上真空，放掉舊油沖干凈泵腔換好新油就解決了。

最后再查泵內(nèi)部的磨損：螺桿泵看轉(zhuǎn)子間隙，正常新的鮑斯螺桿泵轉(zhuǎn)子間隙在0.1-0.2mm之間，長期抽含粉塵、可凝性氣體，轉(zhuǎn)子會積碳磨損，間隙超過0.5mm之后，內(nèi)泄漏量會翻3倍以上，抽速明顯不夠，這種情況拆出來清積碳調(diào)整間隙就能改善，嚴重的再換轉(zhuǎn)子組件。旋片泵要檢查旋片和排氣閥片，旋片磨損長度不夠貼不住泵腔，或是閥片磨損斷裂導致排氣倒吸，都會讓抽速掉一半，換個閥片也就幾十上百塊，成本很低。

排查完都沒問題？大多是選型匹配出了問題

這種情況也很常見，要么是一開始選型就沒留夠余量，要么是工藝改了，抽氣負荷變大了。我之前碰過一個做光學鍍膜的客戶，原來鍍小鏡片，選了一臺抽速150L/s的泵，后來改做大尺寸光學鏡片，單次放氣量大了一倍，原來的泵就永遠達不到工藝要求的抽速。

還有很多客戶選型的時候為了省錢，剛好卡著工藝要求的最低抽速選，沒有留余量，泵用兩三年出現(xiàn)正常磨損之后，抽速就達不到要求了。蘇州嘉科給客戶做選型的時候，一般都會留15%-20%的抽速余量，就是避免這種情況。如果確實是選型不夠，或是泵磨損到維修成本接近新泵的一半，那就直接換泵，具體參數(shù)可以去www.haodondon.cn查。

日常保養(yǎng)預防抽速下降的幾個實用要點

• 油封式旋片泵嚴格按換油周期保養(yǎng)，普通干凈工況3-6個月?lián)Q一次油，粉塵、可凝性氣體多的場合1-3個月?lián)Q一次，換油必須放干凈舊油，不要新舊油混加
• 螺桿真空泵每運行5000小時做一次常規(guī)保養(yǎng)，拆開清洗轉(zhuǎn)子腔的積碳和雜質(zhì)，檢查調(diào)整轉(zhuǎn)子間隙，避免磨損加劇
• 進氣過濾器每1-3個月拆出來用壓縮空氣反吹清灰，當進氣壓差超過0.02MPa時直接更換，不要湊合用
• 長期停泵前，要通入干燥氣體把泵腔內(nèi)殘留的腐蝕性氣體、可凝性氣體排干凈，避免泵腔和轉(zhuǎn)子腐蝕生銹

我干了十幾年，從維修學徒到現(xiàn)在，碰到過太多花了幾萬塊換泵，最后發(fā)現(xiàn)就是一個墊片或者濾芯壞了的案例。抽速不夠不是什么疑難雜癥，按從外到內(nèi)、從易到難的順序排查，大部分問題都能低成本解決，不用上來就動大手術(shù)。