目前公轉(zhuǎn)型多為雙腔臥式泵,而回轉(zhuǎn)型多為單腔立式泵。其工作原理如圖8所示,氣體從周邊吸入向中心壓縮由中間排氣,實(shí)現(xiàn)連續(xù)吸氣,壓縮和排氣的整個(gè)抽氣過程。這種泵壓縮平穩(wěn)、驅(qū)動力矩變化小,故振動小、噪音低(60dB(A)),相鄰的二個(gè)月牙腔容積的壓差小,故間隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到較高的壓縮比,這種泵從大氣壓抽到極限壓力1～1021Pa,泵的抽速為20～50m3/h,它是一種節(jié)能型產(chǎn)品,市場已有出售。

渦旋型干式真空泵的工作原理渦旋干泵真空泵的工作原理及注意事項(xiàng)

渦旋真空泵是新一代的無油機(jī)械泵，它具有結(jié)構(gòu)簡單，密封性能好，極限真空高等優(yōu)點(diǎn)。作為一種高新技術(shù)產(chǎn)品，渦旋式干式真空泵在設(shè)計(jì)、制作方面都擁有非常高的技術(shù)含量，在應(yīng)用方面具有運(yùn)行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點(diǎn)，在無油清潔應(yīng)用領(lǐng)域有著不可比擬的優(yōu)勢，因此受到市場的高度推崇。GVD、GSP 系列渦旋干泵是鮑斯真空針對國內(nèi)外市場下游應(yīng)用特點(diǎn)而推出的性能卓越、價(jià)格競爭優(yōu)勢明顯的渦旋干泵。

應(yīng)用領(lǐng)域

普通清潔真空獲得應(yīng)用、分子泵前級泵、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)、分析儀器、真空檢漏 /He 質(zhì)譜檢漏、光束線 / 高能物理、科學(xué)研究、臨床醫(yī)療設(shè)備、蒸餾 /萃取 / 過濾、激光、氣體回收和再循環(huán)、半導(dǎo)體（LED/LCD 長晶爐）、光伏（單晶爐 / 多晶爐 )、鍍膜（PVD/CVD)、工業(yè) / 電池生產(chǎn)、手套箱 / 排氣臺、電子束焊接 / 激光焊接。

 渦旋型干式真空泵以其轉(zhuǎn)動方式不同,分為兩種型式:一種是一個(gè)渦旋固定不動(稱為靜渦旋),另一個(gè)渦旋圍繞著它公轉(zhuǎn)平動而不能自轉(zhuǎn)(稱為動渦旋)的公轉(zhuǎn)型(Orbiting type);另一種是兩個(gè)渦旋同步同方向各自繞自身軸轉(zhuǎn)動的回轉(zhuǎn)型(Rotat ingtype)它的兩個(gè)渦旋都是動渦旋。