羅茨真空泵，一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，其設(shè)計(jì)靈感源自羅茨鼓風(fēng)機(jī)。這種泵于1944年首次在德國(guó)問(wèn)世，主要用于在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)的真空熔煉系統(tǒng)，作為機(jī)械增壓泵使用。

羅茨真空泵根據(jù)工作壓力范圍的不同，可分為直排大氣的低真空羅茨泵、中真空羅茨泵（機(jī)械增壓泵）以及高真空多級(jí)羅茨泵。在國(guó)內(nèi)，中真空羅茨泵（以下簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵）的使用量最大。

羅茨泵相較于其他油封式機(jī)械泵，具有以下顯著特點(diǎn)：

• 在較寬的壓力范圍內(nèi)，羅茨泵能保持較大的抽速；

• 轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱(chēng)性，因此振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，無(wú)需潤(rùn)滑，摩擦損失小，可以大幅降低驅(qū)動(dòng)功率，從而實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

• 泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可以減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；

• 泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

• 壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；

• 轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

近年來(lái)，羅茨泵在國(guó)內(nèi)外得到了快速發(fā)展，已在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。