真空泵要求從密封容器中高速高效地排除氣體，以達(dá)到產(chǎn)生,改善和維持真空的目的。其工作原理可以分為機(jī)械、物理和化學(xué)方式。根據(jù)要達(dá)到的真空度不同,常常需要2種以上的真空泵相組合。

代表的真空泵

　　1：旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵

　　2：分子泵(TMP)

　　3：離子泵

　　4：Ti升華泵

　　5：低溫泵

　　曾經(jīng)被廣泛使用的油擴(kuò)散泵因?yàn)榇嬖谟蜌庹舭l(fā)的問(wèn)題、現(xiàn)在已經(jīng)很少被采用。

旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵

　　以油封式真空泵為例加以介紹。

　　構(gòu)造：偏心軸轉(zhuǎn)子,固定翼,油。旋轉(zhuǎn)動(dòng)力是電機(jī)。

　　原理：轉(zhuǎn)子緊貼泵壁內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。固定翼隨之下移,轉(zhuǎn)子到達(dá)油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界大氣壓之后從排氣口排出。

　　特征：

　　排氣能力由壓縮比決定,可達(dá)0.1Pa程度。操作簡(jiǎn)單。可以從大氣壓狀態(tài)下啟動(dòng)。油要蒸發(fā)。

　　為了避免油或其它液體進(jìn)入真空腔內(nèi),不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。

分子泵(TMP)

　　構(gòu)造：電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)葉片,泵壁上固定的固定葉片。

　　原理：每分鐘旋轉(zhuǎn)數(shù)萬(wàn)次的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片上,最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類(lèi)而變。

　　特征：

　　不用油,工作環(huán)境清潔,可到達(dá)10-10Pa的真空度。排氣速度不受氣體種類(lèi)影響。構(gòu)造復(fù)雜,價(jià)格昂貴,高速旋轉(zhuǎn),要注意安裝要求。有振動(dòng)。需要和其它初段排氣泵組合。

離子泵

　　構(gòu)造：強(qiáng)磁鐵,蜂窩狀陽(yáng)極,鈦(Ti)陰極。

　　原理：通過(guò)濺射現(xiàn)象,使Ti離子化,Ti離子化學(xué)反應(yīng)活性高。和氣體分子反應(yīng)之后生成化合物。

　　一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進(jìn)入陰極內(nèi)部。

　　特征：

　　能達(dá)到超高真空(10-10Pa)

　　需要和其它初段排氣泵組合。

　　有一定壽命。

Ti升華泵

　　構(gòu)造：加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。

　　原理：通過(guò)加熱電阻絲,使Ti升華。因?yàn)門(mén)i化學(xué)反應(yīng)活性高、立刻和周?chē)臍怏w分子反應(yīng)而生成穩(wěn)定的化合物。反應(yīng)生成的化合物吸附在真空腔內(nèi)壁上、從而達(dá)到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內(nèi)壁上、則產(chǎn)生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對(duì)氮?dú)舛?、可達(dá)到24000升/s的排氣速度。 在壓力較高時(shí)(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。

　　特征：

　　排氣速度大。

　　沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部分,沒(méi)有振動(dòng)。

　　需要和其它初段排氣泵組合。

　　有一定壽命。

低溫泵

　　構(gòu)造：冷凍機(jī)、液態(tài)He。

　　原理：利用氣體在超低溫表面凝結(jié)而達(dá)到排氣效果。

　　特征：

　　能達(dá)到超高真空(10-11Pa)

　　排氣速度快。

　　安裝方向不受限制。

　　選擇排氣泵的方法

　　1、需要到達(dá)的真空度

　　2、需要的排氣時(shí)間

　　3、是否需要導(dǎo)入氣體

　　4、排氣種類(lèi)

　　5、配管長(zhǎng)度,氣體通過(guò)率的考慮